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c# SECS HSMS编程

于 2023-03-25 发布文件大小:55.12 kB

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代码说明：

关于半导体SEMI SECS SECS-I SECS-II GEM HSMS的一个程序，采用SEMI E37的协议规格编程，来完成和半导体生产设备的通讯

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